液氮高低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。

PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电测试。

特点
• 液氮高，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到最低温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性。
•探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。
•独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足最大4英寸样品的测试。
•真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性
•探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K
•测试温度范围宽，最大支持80K-800K连续变温。
•上盖采用翻盖结构，换样更便捷。

测试数据

参数和指标：

探针台主机分类
型号	PSM-LN2-2	PSM-LN2-2H	PSM-LN2-4	PSM-LN2-4H
温度范围	80K--500K	80K--800K	80K--500K	80K--800K
控温稳定性	+/-50mK	+/-100mk	+/-50mK	+/-100mk
样品座
类型及材料	无氧铜接地镀金样品座	无氧铜接地样品座	无氧铜接地样品座	无氧铜接地样品座
尺寸	2寸	2寸	4寸	4寸
可选规格	绝缘样品座 （温度只能到400K） 同轴样品座 （温度只能到400K） 三同轴样品座（温度只能到400K）
探针臂
类型	直流探针臂
数量	4
接头及电缆	三同轴接头+极细同轴低温电缆
漏电流	100fA@1V 真空环境中
信号频率	DC--50MHz
匹配阻抗	50欧姆
位移范围	X+/- 35mm,Y+/- 12.5mm Z +/-6.5mm R+/-10°		X+/- 50mm,Y+/- 12.5mm Z +/-6.5mm R+/-10°
光学系统
显微镜放大倍数	10--180倍
分辨率	3微米
视场	最大22mm
工作距离	90--100mm
真空腔
材料	铝合金
腔体容积	4L		5.5L
整体尺寸	800*800*600		900*900*600
腔体内径	124mm		155mm
视窗尺寸	50mm		100mm
真空腔体窗口	红外吸收窗口
防辐射屏窗口	标准石英窗口
真空度	5*10E-4 torr
预留接口	2个探针臂接口&2个电学接口
防辐射屏材料	不锈钢
液氮腔体
液氮容量	0.5L
冷却时间	60分钟到80K		80分钟到80K
液氮消耗量	0.2L从室温到80K		0.3L从室温到80K
液氮保持时间	4小时@80K		3小时@80K
专用振动隔离桌
尺寸	800*800*800		900*900*800
桌推	固定脚&滚轮